六氟化硫气体是一种无色、无臭、无毒、不燃、无腐蚀的惰性气态物质，广泛应用于电导设备系列，如电源开关、封闭式电容器组、变压器、高功率电缆、互导传感器、避雷针等等。并且，六氟化硫气体的功效还活跃于粒子加速器、X射线、示踪分析和非金属助熔等领域。在人类生产生活的过程中，产生了大量的SF6气体。然而六氟化硫气体是一种温室气体，大量排放该气体势必导致环境变暖。那么减少六氟化硫排放，将含有六氟化硫的尾气转化也就是成为课题。今天纽瑞德特气小编月月为大家解说微波电浆结合吸收剂转化六氟化硫。

  结合微波电浆火炬-添加剂-吸收剂系统，处理大流量及高浓度之温室效应气体六氟化硫(SF6)，探讨添加剂种类和进流浓度、输入功率、操作压力、 SF6进流浓度及总进流流量对SF6转化率及产物分佈之影响；并且以不同吸收剂探讨对毒性副产物之去除效果。最后经由光学发射光谱的量测，协助鑑定电浆中 主要活性物种之浓度变化，推论与转化SF6之关系。

  结果显示，添加剂及提高输入功率均可提升SF6转化率。对SF6(0.2%)/N2在接近常压，1.6kW下，于H2/O2/SF6,H2O(g)/SF6,H2/SF6以及O2/SF6之进流浓度比例分别为5/5/1,5/1, 5/1及5/1时，可达较佳之SF6转化率，为51.0%,49.2%,48.9%及36.0%。除此之外，降低压力、总进流流量或SF6进流浓度可明显地提高SF6转化率。但仍以处理较高压力、流量及SF6进流浓度之能量利用效率较佳。在产物方面，加入各种添加剂，其主要产物均为F2，以及少量的SiF4。添加H2会生成毒性的HF与硫沉积。添加O2产生SO2F2,SOF2,SOF4，以及微量的SO2及NOx。至于同时添加H2及O2，可抑制SO2F2, SOF2及SOF4之生成，以产出SO2为主，可达较高转化率及较低毒性物质生成之优点。

  在700torr下，各种吸收剂对HF略有吸收效果，此外，降低压力或SF6进流浓度，各种吸收剂均可将HF降低至侦测极限以下，Ca(OH)2吸收剂对 SO2F2及SOF2有较佳之吸收效果。光学发射光谱显示，活性物种N2于电浆反应中扮演重要角色，且活性物种H,N2及SF2之光强度与SF6气体转化率有明显关连，可解释H2/SF6进流比例、功率和添加剂种类之影响。