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氨气/一氧化二氮电浆处理钛酸镍/钛酸钴複晶硅绝缘层

文章出处:责任编辑:作者:人气:-发表时间:2014-08-24 08:56:00【

  氨气和一氧化二氮都是常见的化学气体。氨气要用于生产硝酸、尿素和其他化学肥料,还可用作医药和农药的原料,也可以广泛地应用于半导体工业、冶金工业,以及需要保护气氛的其他工业和科学研究中。而一氧化二氮别名笑气,“笑气”的名称是由于吸入它会感到欣快,并能致人发笑。一氧化二氮能溶于水、乙醇、乙醚及浓硫酸,但不与水反应。它也可以用来作为火箭和赛车的氧化剂,以及增加发动机的输出功率。一氧化二氮是强温室气体。科学家发现笑气和氨气能够使钛酸钴及钛酸镍崩溃电场,从而发挥更大的潜力。下面就由纽瑞德特气小编月月为大家解说一下吧!

 

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  利用氧化炉管合成的高介电常数材料钛酸钴及钛酸镍,其可被运用在非挥发性记忆体元件、随机存取记忆体、及金氧半场效电晶体闸及氧化层上。将其用来取代複晶硅氧化层时,我们可以提高偶合系数使得快闪记忆体的操作电压可以降低,

 

  在实验中,学者证明高温金属氧化製程不会造成穿遂氧化层特性的劣化,并研究有关于钛酸钴及钛酸镍的物性,电性以及可靠度分析。我们首次将氧化前电浆处理及氧化后电浆处理的方式运用在这两个介电层的製造上。结果显示经由氨气或一氧化二氮气体高密度电浆化学气相沉积做氧化前处理后,使得钛酸钴及钛酸镍崩溃电场,及可靠度方面具有较佳的表现,而氧化后处理的方式将使介电层的可靠度降低。经过氧化前氨气或一氧化二氮电浆处理製程后,将使得其更有潜力应用在非挥发性记忆体複晶硅介电层中。

 

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