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当氮气遇到氯气,蚀刻会变得如何?

文章出处:责任编辑:作者:人气:-发表时间:2014-09-04 08:45:00【

  氯气,化学式为Cl?。常温常压下为黄绿色有毒气体,易压缩,可液化为金黄色液态氯。氯气在早期作为造纸、纺织工业的漂白剂。氮气,化学式为N2,通常状况下是一种无色无味的气体,且通常无毒。由于氮的化学惰性,常用作保护气体,如:瓜果,食品,灯泡填充气。液氮还可用作深度冷冻剂.高纯氮气用作色谱仪等仪器的载气。用作铜管的光亮退火保护气体。跟高纯氦气、高纯二氧化碳一起用作激光切割机的激光气体。氮气也作为食品保鲜保护气体的用途。无论是氮气还是氯气,都是常见的化学气体,今天纽瑞德特气小编月月为大家介绍一下当氯气遇到氮气,氯气/氮气混合电浆蚀刻的过程会变得如何有趣!
 

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  电浆蚀刻製程中,离子通量与离子轰击能量为影响蚀刻率的两个关键电浆参数。为了稳定蚀刻率,本研究使用传输线式微波干涉仪与射频阻抗计做为电浆密度、离子电流与射频峰值电压的感测器,分别发展出两套回授控制系统。第一套系统为双变数回授控制电浆密度与射频峰值电压,第二套系统为双变数回授控制离子电流与射频峰值偏压。两套系统的致动器皆为两部13.56 MHz的射频功率产生器,一部供应电浆功率,可调整电浆密度或离子电流;另一部提供射频偏压功率,可调整射频峰值电压。

  在蚀刻至介面层时,通常会降低偏压功率以避免过蚀刻的情形,但功率/电压法应用在低偏压条件下将低估离子电流值,故在设计第二套系统前,先以实验数据建构出类神经网路,使量测的离子电流经过网路修正后可反应真实的离子电流值,再实现其回授控制系统,最后分别在两套系统上规划以开迴路与闭迴路两种控制方式进行实验。实验结果显示在稳定的氯气/氮气电浆状态下,双变数回授控制离子电流与峰值偏压可有效稳定蚀刻率,而回授控制电浆密度与峰值偏压的效果则不理想。

 

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