高纯气体的常见杂质有哪些?
常规杂质:H2, O2, N2, Ar, CO, CO2, CH4, H2O 特殊杂质:颗粒物、油份、金属离子、同位素物质污染、亚稳态物质污染
杂质来源:原料污染、生产工艺副产物、工艺失效污染、过程污染
环境带入:空气组分(O2, N2, Ar, CO2), 水分
生产装置,管路,充装装置带入:水分,金属元素,颗粒物,油份 生产工艺富集 包装污染 残气污染 包装本身带入污染:水分,金属元素,颗粒物 分解聚合污染